Каталог

Keysight B2200A Базовый блок матричного коммутатора с фемтоамперными токами утечки

0 руб.
шт.

B2200A Базовый блок матричного коммутатора с фемтоамперными токами утечки

Описание Характеристики Файлы
"

Матричный коммутатор Keysight B2200A позволяет снизить стоимость испытаний, обеспечивая возможность автоматизации процесса измерения параметров полупроводниковых устройств без снижения измерительных характеристик параметрических анализаторов. Он поддерживает полную конфигурацию Кельвина и включает до 4 модулей источников/измерителей (SMU) и измеритель емкости, при этом обеспечивается возможность для дальнейшего расширения функций в будущем. Он оснащен 14 входами, каждый из которых имеет свой уникальный внутренний измерительный тракт. Для двух входов может быть использована специальная функция компенсации при измерении емкости. Матричный коммутатор обеспечивает управление с передней панели с помощью клавиатуры или дополнительного светового пера и поддерживает работу с другими приборами, такими как генераторы импульсов.

Требования промышленности

Проведение всех параметрических измерений, необходимых для многочисленных тестовых структур на полупроводниковой пластине, может оказаться длительным, трудоемким и дорогостоящим процессом. Учитывая, что цена устройств для конечных потребителей продолжает падать, от разработчиков требуется снижение затрат даже на лабораторные испытания. Использование матричных коммутаторов с полуавтоматическими или полностью автоматическими установками зондового контроля полупроводниковых пластин позволяет автоматизировать параметр ические испытания и исключить необходимость ручной перестановки пробников каждый раз, когда требуется протестировать новое устройство. За счет этого можно добиться снижения как времени испытаний, так и их стоимости.

Многие из существующих матричных коммутаторов имеют свойственные им ограничения. Например, некоторые матричные коммутаторы ухудшают характеристики параметрических анализаторов при измерении малых токов и становятся «слабым звеном» в цепочке измерений. Матричный коммутатор с недостаточным числом внутренних измерительных трактов не способен поддерживать ни полную конфигурацию Кельвина (4-проводную схему измерения), ни измеритель емкости. Такой коммутатор требует вручную изменять соединения кабелей каждый раз при переходе с измерения вольт-амперных характеристик (ВАХ, IV) на измерение вольт-фарадной характеристики (ВФХ, CV). Наконец, если матричный коммутатор при измерении емкости не обеспечивает компенсацию погрешностей, связанных с длиной измерительного тракта, то результат измерений будет неточным.

Высокие характеристики матричных коммутаторов

Базовый блок матричного коммутатора B2200A характеризуется исключительно малыми токами утечки и обеспечивает измерение емкости без ограничений, присущих альтернативным техническим решениям. Способность поддерживать измерения малых значений тока на уровне 1 фA означает, что этот матричный коммутатор не ухудшает рабочих характеристик высокопроизводительного параметрического анализатора. Входы поддерживают полную конфигурацию Кельвина на основе 4 модулей источников/измерителей. Каждый из 14 входов имеет свой уникальный внутренний измерительный тракт, поэтому все они могут использоваться одновременно. В отличие от других технических решений, при использовании этого прибора результат измерения емкости не искажается из-за различий в длине измерительных трактов. Гибкость использования обеспечивается модульной структурой, которая поддерживает конфигурации с 12, 24, 36 или 48 выходами. Полоса пропускания 30 МГц допускает использование измерительных приборов, таких как генераторы импульсов. Управление коммутатором осуществляется с помощью светодиодного дисплея, клавиатуры и дополнительного светового пера.

  • Не отставать от производительности современных параметрических анализаторов
    Современные параметрические анализаторы имеют очень высокие характеристики. Благодаря способности поддерживать измерения тока с разрешением 1 фA матричный коммутатор B2200A не ухудшает рабочих характеристик высокопроизводительного параметрического анализатора.
  • Избежать ограничений производительности при использовании коммутаторов
    Благодаря наличию в матричном коммутаторе B2200A 14 внутренних измерительных трактов удается избежать трудоемкого ручного переключения входов. Все входы имеют свои внутренние измерительные тракты, работающие одновременно.
  • Точное измерение емкости
    При измерении емкости на конечный результат оказывает существенное влияние общая длина измерительного тракта, которая включает длину кабеля и длину внутреннего измерительного тракта коммутатора. При использовании двух входов с разъемами BNC, которые оптимизированы для выполнения измерений емкости, матричный коммутатор B2200A — в отличие от других технических решений — обеспечивает коррекцию ошибок, вносимых длиной сигнального тракта матричного коммутатора, что позволяет выполнять точные измерения емкости.

Возможности и преимущества

Возможности Преимущества
Разрешение 1 фА при измерении тока Матричный коммутатор не ухудшает рабочих характеристик параметрического анализатора.
8 триаксиальных и 6 BNC входов Поддержка измеритель емкости и полной конфигурации Кельвина на основе 4 модулей источников/измерителей, при этом 4 входа BNC обеспечивают возможность расширения функций в будущем.
14 параллельных внутренних измерительных трактов Возможность одновременного использования всех восьми триаксиальных входов и всех шести BNC входов.
Функция компенсации при измерении емкости Коррекция ошибок, вносимых длиной сигнального тракта матричного коммутатора, что позволяет выполнять точные измерения емкости.
Управление с помощью светодиодного дисплея, клавиатуры и дополнительного светового пера Возможность отладки измерительной системы в автономном режиме путем визуального отображения состояния реле коммутатора и изменения состояния реле вручную.
Полоса пропускания 30 МГц Возможность использования измерительных приборов, таких как генераторы импульсов, совместно с коммутатором B2200A.

Составные части

• Базовый блок матричного коммутатора с фемтоамперными токами утечки B2200A
• Модуль матричного коммутатора с фемтоамперными токами утечки B2210A

Основные характеристики

Базовый блок B2200A
Характеристика Значение
Количество портов  
  Порты для измерения ВАХ 8 триаксиальных портов (с защитой)
  Вспомогательные порты (AUX) 6 портов BNC, из них 2 для измерения ВФХ
  Выходные каналы Триаксиальные порты (с защитой), доступны конфигурации x12, x24, x36 и x48
Количество гнезд 4 гнезда для модулей коммутации высотой 48 мм

 

Модуль B2210A
Характеристика Значение
Максимальный ток  
  Порт I-V 1,0 А
  Порт AUX 0,5 А
Максимальное напряжение  
  Порт I-V (относительно другого канала) 200 В
  Порт I-V (относительно корпуса) 300 В
  Порт AUX (относительно другого канала) 100 В
  Порт AUX (относительно корпуса) 100 В
Развязка между каналами  
  Порт I-V 1·1014 Ом
  Порт AUX 1·109 Ом
Смещение по току (доп. характеристика)  
  Порт I-V 50 фА
Интермодуляционный шум (СКЗ) (доп. характеристика)  
  Порт I-V 5 фА
Дополнительная ошибка измерения емкости (доп. характеристика) менее ±1 % + 0,2 пФ
Полоса пропускания (по уровню –3 дБ) 30 МГц
Время установления (доп. характеристика) 2,0 с до уровня 50 фА

Смежные продукты


"

Связанные приборы